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Modeling of Chemical Vapor Deposition of Tungsten Films

74.97 CHF

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Artikel-Nr.: 10432655

Beschreibung

Principal Symbols.- 1 Introduction.- 2 Mathematical models for chemical vapor deposition.- 3 Thermal modeling.- 4 Blanket tungsten deposition.- 5 Selective tungsten deposition.- 6 Conclusions.

Eigenschaften

Breite:	152
Höhe:	229
Seiten:	139
Sprachen:	Englisch
Autor:	Chris R. Kleijn, Christoph Werner

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