Integrierte Hochvolt-Schaltungstechnik: Ansteuerschaltungen für Mikroaktoren mit elektrostatischem A

Der Einsatz von elektrostatischen Mikroaktoren stellt besondere Ansprüche an die integrierten Treiberschaltungen. Die vorliegende Arbeit widmet sich dem integrierten Schaltungsentwurf von Hochvolt-Verstärkern für Torsionsspiegelarrays. Es werden verschiedene Verstärkerbetriebsarten hinsichtlich der Ansteuerung kleiner kapazitiver Lasten bewertet. Von besonderem Interesse ist die effiziente Funktion der integrierten Verstärker. Dazu zählt u.a. die leistungsarme Signalübertragung zwischen Low- und High-Side in geschalteten Hochvolt-Ausgangsstufen.Die speziellen Aspekte einer MEMS-Integration als System-in-Package demonstriert das Applikationsbeispiel einer integrierten Spiegelzeile eines Hadamard-Transformations-Spektrometers, bei dem Elektronik und Mechanik als Chipstapel mittels Waferbonden zusammengefügt werden.Den Einstieg in die Thematik der Hochvolt-Schaltungstechnik vermittelt ein Abriss über Isolationstechnologien und über Bauelementemodelle für Hochvolt-ICs. Außerdem werden die Vor- und Nachteile der wichtigsten Antriebsprinzipien von Mikroaktoren zusammengefasst.Das Buch richtet sich an Schaltungsentwickler aus dem Bereich der Mikrosystemtechnik.