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Introductory MEMS: Fabrication and Applications

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Artikel-Nr.: 10195518

Beschreibung

Preface.- Part I: Fabrication.- Introduction.- The Substrate and Adding To It.- Creating Patterns-Lithography.- Creating Structures-Micromachining.- Solid Mechanics.- Part II: Applications.- Thinking About Modeling.- MEMS Transducers-An Overview of How They Work.- Piezoresistive Transducers.- Capacitive Transducers.- Piezoelectric Transducers.- Thermal Transducers.- Introduction to Microfluidics.- Microfabrication Laboratories.- Appendices.- Glossary.- Index.

Eigenschaften

Breite:	155
Gewicht:	834 g
Höhe:	235
Seiten:	440
Sprachen:	Englisch
Autor:	Richard A. Layton, Thomas M. Adams

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