Precision Nanometrology: Sensors and Measuring Systems for Nanomanufacturing

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Artikel-Nr.: 10380146

Beschreibung

Angle Sensor for Measurement of Surface Slope and Tilt Motion.- Laser Autocollimator for Measurement of Multi-axis Tilt Motion.- Surface Encoder for Measurement of In-plane Motion.- Grating Encoder for Measurement of In-plane and Out-of-plane Motion.- Scanning Multi-probe System for Measurement of Roundness.- Scanning Error Separation System for Measurement of Straightness.- Scanning Micro-stylus System for Measurement of Micro-aspherics.- Large Area Scanning Probe Microscope for Micro-textured Surfaces.- Automatic Alignment Scanning Probe Microscope System for Measurement of 3D Nanostructures.- Scanning Image-sensor System for Measurement of Micro-dimensions.

Eigenschaften

Breite:	166
Gewicht:	680 g
Höhe:	237
Länge:	27
Seiten:	354
Sprachen:	Englisch
Autor:	Wei Gao

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