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Wafer Fabrication: Factory Performance and Analysis

259.25 CHF

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Artikel-Nr.: 10425250

Beschreibung

About the authors. Preface. 1. Introduction to the Electronic Industry. 2. Factory Phenomena. 3. Processes for Wafer Fabrication. 4. Fab Graphs and Static Analyses. 5. Factory Performance Basics. 6. Advanced Performance Concepts. 7. Factory Modeling. 8. Cluster Tools. 9. Performance Economics. Index.

Eigenschaften

Breite:	156
Gewicht:	862 g
Höhe:	234
Länge:	28
Seiten:	468
Sprachen:	Englisch
Autor:	Linda F. Atherton, Robert W. Atherton

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