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Dry Etching Technology for Semiconductors

132.63 CHF

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Artikel-Nr.: 10439759

Beschreibung

Contribution of Dry Etching Technology to Progress of Semiconductor Integrated Circuit.- Mechanism of Dry Etching.- Dry Etching of Various Materials.- Dry Etching Equipments.- Dry Etching Damage.- Latest Dry Etching Technologies.- Future Challenges and Outlook for Dry Etching Technology.

Eigenschaften

Breite:	159
Gewicht:	362 g
Höhe:	239
Länge:	245
Seiten:	116
Sprachen:	Englisch
Autor:	Kazuo Nojiri

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