Tungsten Karbonitrür Kaplama (WCN)

Bu çal smada yüksek safiyette (% 99,5) tungsten karbür WC (% 7Co) hedef malzeme ve N2 reaktif gaz kullan larak reaktif dogru ak m manyetik alanda s çratma yöntemiyle yüksek h z çeligi ve silisyum (100) plakalar üzerine farkl kompozisyonlarda tungsten karbonitrür ince filmler biriktirilmistir. Reaktif gaz ak s oran % 5 ve % 50 aras nda degistirilerek kaplamalar n kimyasal kompozisyonlar degistirilmistir. Üretilen filmlerin kal nl klar , yap sal ve kimyasal kompozisyon özellikleri s ras yla SEM ve EPMA-WDS ile analiz edilmistir. Filmlerin faz analizleri düsük aç l ince film XRD ile yap lm st r. WCN kaplamalar n sertlikleri ve as nma özellikleri nanoindentasyon ve as nma testleri ile belirlenmistir. Son olarak, EPMA ile as nma izlerinin görüntüleri al nm s ve elementel haritalar ç kar larak as nma izlerinde element degisiklikler incelenmistir. Çal smada analiz ve test sonuçlar reaktif gaz ak s oran ile WCN filmlerin yap sal, mekanik ve tribolojik özellikleri aras ndaki iliski incelenmistir.