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Design for Manufacturability with Advanced Lithography


Design for Manufacturability with Advanced Lithography
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  • 10442013


Beschreibung

Introduction.- Layout Decomposition for Triple Patterning.- Layout Decomposition for Other Patterning Techniques.- Standard Cell Compliance and Placement Co-Optimization.- Design for Manufacturability with E-Beam Lithography.- Conclusions and Future Works.-

Eigenschaften

Breite: 162
Höhe: 242
Länge: 16
Seiten: 164
Sprachen: Englisch
Autor: Bei Yu, David Z. Pan

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